[19a-141-1~6] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [19a-141-6] Measurement of electron temperature by tone burst floating method

〇Takeshi Katahira¹, Hiromu Kawana¹, Mikio Ohuchi¹, Shuichi Sato¹ (1.Tokyo Denki Univ.)

Keywords:Langmuir probe, Floating potential, Electron temperature

近年、各産業でプラズマを用いた技術が利用されており、これらの技術向上が要求されている。そのため、プラズマパラメータの測定技術の向上が重要となっている。一般的にプラズマを測定する技術としてラングミュアプローブ法が挙げられるが、プローブ表面に絶縁物がコートされてしまうため、電流、電圧測定に誤差が発生してしまう。そこで、当研究グループにおいて、ラングミュアプローブ法よりも解析が簡便で、プローブに電流を流さずに測定が行えるフローティングプローブ法を検討した。しかし、フローティングプローブ法では、浮動電位の測定法が確立していないため検証、考察の余地があった。本研究では、トーンバースト信号を印加し、出力波形を観測することにより浮動電位の変化量を測定した。従来法と比較することで、その有効性について系統的に研究を行った。