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[19a-145-2] 分散ダメージ低減による半導体型CNTのTFT特性向上
キーワード:CNT、半導体ポリマー、TFT
近年、塗布型薄膜トランジスタ(TFT)の半導体材料として単層カーボンナノチューブ(SWCNT)が注目されている。我々はこれまでに、高純度半導体型SWCNTと独自半導体ポリマーとの複合化により、塗布型では世界最高レベルの移動度を達成している。今回、さらなる移動度向上に向け、SWCNTの分散ダメージの低減に着目し、原料CNTおよび分散プロセスを検討し、半導体型SWCNTのTFT特性を評価した。その結果、分散ダメージ低減によりTFT特性向上が見られた。