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△ [19a-146-5] 分子線酸素ビーム照射下その場観察XPS によるGaN 表面酸化の面方位依存性
キーワード:酸化、XPS
GaNの+c面、-c面、m面に対して分子線酸素ビームを照射しながら、その場XPSで表面酸化をリアルタイムで観察した。
この結果をGaN 極性表面構造を構成した計算モデルから考察し、表面酸化の面方位依存性を明らかにする。
この結果をGaN 極性表面構造を構成した計算モデルから考察し、表面酸化の面方位依存性を明らかにする。