[19a-212B-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

[19a-212B-9] 光電子収量分光（PYS)の閾値の自動判定の検討

〇柳生 進二郎¹、吉武 道子¹、知京 豊裕¹、長田 貴弘¹ (1.物材機構)

キーワード：機械学習、光電子収量分光

光電子分光収量分光法（PYS：試料にエネルギーを変えた紫外光を照射し，放出される電子の数を計測する）の光電子放出閾値の推定の自動化の方法として、最小二乗回帰（Fitting)と機械学習の手法が考えられる。機械学習の検討手順について示すとともに、実測データに二つの手法を適用した結果について述べる。