[19a-231A-1~6] 16.2 エナジーハーベスティング

△ [19a-231A-2] PLD法による酸化バナジウム系アモルファス薄膜の作製と熱電特性評価

〇中西 昴¹、岩佐 健¹、金子 智^2,1、木村 好里¹、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)

キーワード：アモルファス薄膜、熱電変換、バナジウム