[19a-234B-1~9] 6.4 薄膜新材料

[19a-234B-5] 薄膜成長技術×超高圧技術: 高圧相α-PbO₂型TiO₂薄膜の固相エピタキシャル成長

〇(M2)笹原 悠輝¹、遊馬 博明¹、金谷 航葵¹、清水 亮太^1,2、西尾 和記¹、西山 宣正³、一杉 太郎¹ (1.東工大物質理工、2.JSTさきがけ、3.東工大フロンティア研)

キーワード：高圧合成、エピタキシャル成長、高圧相

一般に、薄膜成長は減圧環境下で行われる。一方、超高圧下では、常圧下では合成できない物質の作製が可能である。そこで、これまで相反すると思われていた「薄膜成長技術」と「超高圧技術」を組み合わせ、新物質合成することを着想した。本研究では、TiO₂系に着目し、非晶質TiO₂薄膜に対して超高圧印加しながら加熱処理を行うことで、単相の高圧相α-PbO₂型TiO₂のエピタキシャル薄膜作製に成功したので報告する。