[19a-311-1~12] 17.3 層状物質

[19a-311-12] 層状物質NbSe₂劈開膜の微細加工が伝導特性に与える影響II：収束イオンビーム加工

〇友利 ひかり¹、星 直樹¹、矢部 大輔¹、渡邊 賢司²、谷口 尚²、神田 晶申¹ (1.筑波大数理物質、2.物材機構)

キーワード：層状物質、カルコゲナイド

遷移金属ダイカルコゲナイドの一つで超伝導体である２セレン化ニオブ(NbSe₂)の劈開膜に対して収束イオンビーム(FIB)加工を行った際の影響を電気伝導を通して調べた。超伝導転移温度の大幅な低下とジョセフソン接合的な電流電圧特性が見られたことから、FIB加工によってNbSe₂薄膜は小片に分離し、各小片間はトンネル接合によって結合していることが示唆された。