[19a-311-1~12] 17.3 層状物質

[19a-311-9] 電極界面制御による多層チタニアナノシートのFET動作

〇(M2)池田 京一郎¹、佐藤 匡哉¹、原 正大²、船津 麻美^2,3、野内 亮^1,3 (1.大阪府大院工、2.熊大院先端、3.JST さきがけ)

キーワード：チタニアナノシート、界面制御、電荷注入障壁

チタニアナノシートとは酸化チタン(４)の2次元材料であり、光触媒などへの応用が期待されている。しかし、電子親和力が高く電子注入障壁が高くなるため、チタニアナノシートをチャネルとした電界効果トランジスタ(FET)は一般に動作実現が難しい。そこで本研究では、電子注入層として薄いZnO層を金電極／チタニアナノシート界面に挟み込み、電子の注入を達成することでFET動作を実現した。