[19a-431B-1~6] 3.5 レーザー装置・材料

[19a-431B-6] 半導体検査用DUV光源プラットフォームの構築

〇宮田 憲太郎¹、棚橋 晃宏¹、茂原 瑞希²、志村 啓²、中山 伸一³、和田 智之¹ (1.理研、2.日立ハイテク、3.メガオプト)

キーワード：半導体検査、レーザ、波長変換