2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[19a-436-1~8] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2018年9月19日(水) 09:30 〜 11:45 436 (436)

末益 崇(筑波大)、立岡 浩一(静岡大)

09:30 〜 09:45

[19a-436-1] 真空蒸着法による透明導電膜上へのBaSi2薄膜作製と評価

中川 慶彦1、望月 健矢1、後藤 和泰1、黒川 康良1、宇佐美 徳隆1 (1.名大工)

キーワード:バリウムシリサイド、真空蒸着