[19a-436-1~8] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[19a-436-1] 真空蒸着法による透明導電膜上へのBaSi₂薄膜作製と評価

〇中川 慶彦¹、望月 健矢¹、後藤 和泰¹、黒川 康良¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大工)

キーワード：バリウムシリサイド、真空蒸着