PDF ダウンロード スケジュール 10 いいね! 0 コメント (0) 11:00 〜 11:15 [19a-436-6] 共スパッタリング法により形成したMgSiSn薄膜の電気特性 〇(M1)布施 翔太郎1、和田 英之1、勝俣 裕1 (1.明大理工) キーワード:半導体、Mg2Si、共パッタリング法