[19a-437-1~13] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

△ [19a-437-11] Fabrication of I-VII compound semiconductors using NaCl crystals gor ddevelopment of 150 nm band EUV-EL device

〇(B)Riki Terada¹, Shouhei You¹, Tadashi Kawazoe¹, Takashi Tadokoro¹ (1.TDU)

Keywords:I-VII compound semiconductor, dressed photon, opto electronic device

リソグラフィ等の分野で用いる真空紫外領域のレーザーとして、波長200nm以下の半導体レーザーを実現するために、大きなバンドギャップを持ち、結晶作製の容易なI-VII族結晶である NaCl結晶に注目した。NaCl結晶のバンドギャップは8.5eVであり、これを発光素子に利用できれば150nm以下発光波長をもつEL素子が実現可能である。
そのため、Cuをドナーとして用いた電気伝導性を持つNaCl結晶の作製を行った。