[19p-133-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-133-1] [講演奨励賞受賞記念講演] ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用

〇清水 貴博^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード：PZT、ScAlN、ZnO