[19p-133-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-133-14] 印加掃引バイアス累積によるBaTiO₃薄膜リーク電導特性の制御

小林 亮子¹、前島 壮¹、山下 馨¹、〇野田 実¹ (1.京工繊工芸)

キーワード：BaTiO3、抵抗変化、酸素欠陥

50 nm前後の膜厚のBaTiO₃キャパシタ素子のリーク電導特性の検討を進めた。XPS結果から下部電極Pt界面付近に酸素欠陥が多く観察され、Pt電極側から同欠陥への電子注入・捕獲ではと考えられる電導特性が得られた。また三角波印加電圧の掃引累積に伴う同放出等も検討した。MLCC用高密度／薄層化、ニューロモルフィックシナプス素子低消費電力化に関連して考察したい。