[19p-133-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-133-2] チタン酸ジルコン酸バリウムナノキューブ集積体の電気特性

〇三村 憲一¹、加藤 一実¹ (1.産総研)

キーワード：ナノキューブ、チタン酸ジルコン酸バリウム、自己組織化

チタンの一部をジルコニウムで置換したチタン酸ジルコン酸バリウムナノキューブ（BZT NC）の三次元集積体の圧電特性がチタン酸バリウム（BT） NCと比較してスリム化することや誘電特性の温度依存性が小さいことなどを明らかにした。これらの結果により、ジルコニウムの固溶による相転移挙動の変化が示唆された。本研究では、BT NCおよびジルコニウム固溶量の異なるBZT NCの電気特性を評価し、特徴を比較することにより、その起源について考察した。