[19p-221A-1~18] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[19p-221A-1] 無電解金メッキ液を用いたナノワイヤ成長用金微粒子の作製

〇舘野 功太^1,2、章 国強^1,2、滝口 雅人^1,2、佐々木 智¹ (1.NTT物性研、2.NTT NPC)

キーワード：ナノワイヤ、金微粒子、無電解メッキ

100 nm以上のナノワイヤ径を得るために無電解メッキによる金微粒子の形成を試みた。室温、p型基板上で 100 nm以上の径の金微粒子が分散して形成されることを確認した。InP基板上で作製したサンプルでInPナノワイヤ成長を行い良好に成長していることを確認した。