[19p-224A-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19p-224A-5] ZnO系透明導電膜の特性とPLスペクトルの対応 III

〇赤沢 方省¹ (1.NTT DIC)

キーワード：ZnO、ドナー、フオトルミネッセンス

ZnOのドナーが何であるかは、分野における長年の懸案である。我々はPLと導電特性を結び付けることで、ドナーを生成する欠陥を同定しようと試みている。今回、水素アニールがもたらす水素ドナーの寄与、及びサファイア基板上の酸素不足膜の示す発光特性から、有効なドナーに関する知見を得た。