[19p-224B-1~21] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

△ [19p-224B-18] 局所歪み制御層を有する低電圧駆動かつ大伸縮可能なカーボンナノチューブ薄膜トランジスタ

〇西尾 祐哉¹、西村 圭太¹、廣谷 潤¹、岸本 茂¹、大野 雄高^1,2 (1.名大工、2.名大未来研)

キーワード：ストレッチャブルエレクトロニクス、カーボンナノチューブ、電子デバイス

最近、カーボンナノチューブを用いることで、伸縮可能な薄膜トランジスタが報告されているが、歪みとともに特性の変化が見られ、また、絶縁膜に低誘電率のポリマー材料を用いており、駆動電圧は高い。本研究では、局所的な歪み制御層を導入することにより、低電圧動作と大きな伸縮性を併せもつカーボンナノチューブ薄膜トランジスタを実現した。