[19p-233-1~12] 材料・プロセスが切り開く未来半導体デバイス

[19p-233-4] 嗅覚IoTセンサシステムの実現に向けた新センサとその集積プロセス

〇吉川 元起¹ (1.物材機構)

キーワード：嗅覚センサ、膜型表面応力センサ