[19p-234A-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [19p-234A-9] 周期的ナノパターン表面を有するポリマー基板上への酸化物半導体薄膜の作製と電気特性評価

〇岩佐 健¹、大賀 友瑛¹、土嶺 信男²、金子 智^3,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.(株)豊島製作所、3.神奈川県産技総研)

キーワード：熱ナノインプリント、周期的ナノパターン、酸化物半導体薄膜

我々は自己組織化酸化物ナノ構造体をモールドとしたポリマー表面への微細構造の転写形成について報告してきた。一方周期的ナノパターンを形成したフレキシブル基板上に堆積させた酸化物半導体薄膜に関する報告は少ない。本研究ではナノ構造を有するポリマー基板の薄膜成長基板への応用を目的とし，ナノパターン表面を有するポリマー基板上酸化物半導体薄膜における基板表面形状が電気特性に与える影響について検討した。