[19p-234B-1~19] 6.4 薄膜新材料

△ [19p-234B-19] 真空中におけるエリプソメトリを用いたイオン液体薄膜のガラス転移観察

〇石川 湧己¹、丸山 伸伍¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：イオン液体薄膜、エリプソメトリ、ガラス転移

イオン液体は不揮発性溶媒として様々な分野で応用されており，多くのイオン液体はガラス化することが知られている．しかし，均一な薄膜を作ることが容易でなかったため，これまでイオン液体薄膜のガラス転移挙動を調べた例はない．そこで今回，独自に開発してきたイオン液体の真空蒸着技術によりイオン液体薄膜を作製し，蒸着装置に設置したエリプソメトリを用いて真空中でガラス転移測定を試みた．