[19p-234B-1~19] 6.4 薄膜新材料

△ [19p-234B-6] α, β-Co(OH)₂前駆体を用いた(111)-Co₃O₄シートの合成と(111)配向機構

〇(DC)林 兼輔¹、山田 啓介¹、嶋 睦宏¹ (1.岐阜大工院工)

キーワード：結晶成長、配向制御

沈殿法で合成したα, β-Co(OH)₂を前駆体として用い、その前駆体をアニールすることで、Si基板上に(111)配向を持つ、Co₃O₄シートを合成することに成功した。
XRDを用いて構造評価を行ったところ、両前駆体をアニールした試料からCo₃O₄の(111)、(222)、(333)ピークのみが観測され、Si基板上のCo₃O₄が(111)配向していることが示された。Co₃O₄が(111)配向している理由については、α, β-Co(OH)₂を前駆体のコバルトイオンの配列が影響していると考えられる。