[19p-431B-1~18] 3.5 レーザー装置・材料

[19p-431B-13] 繰り返しパルス照射による石英ガラスのレーザー損傷の温度依存性

〇(M1)小川 遼^1,3、本越 伸二²、吉村 政志³、實野 孝久³、藤岡 加奈³、今西 正幸¹、森 勇介¹ (1.阪大院工、2.レーザー総研、3.阪大レーザー研)

キーワード：レーザー損傷、紫外光、温度依存性

我々の目的は、繰り返しパルス照射時の光学素子のレーザー損傷機構を明らかにし、その高耐力化を行うことである。本研究では、加熱保持した石英ガラスに対して、ArFエキシマレーザー ( 193nm, 10ns, 繰返し100Hz ) を照射した時の透過率変化を評価した。結果、透過率の低下は、ガラス温度を上げることにより抑制することが分かった。講演では、レーザー損傷しきい値の結果も合わせて報告する。