[19p-431B-1~18] 3.5 Laser system and materials

[19p-431B-3] Parameter-variable high-average-power femtosecond fiber laser system for optimization of laser processing

〇Dai Yoshitomi¹, Hideyuki Takada¹, Kenji Torizuka¹, Yohei Kobayashi² (1.AIST, 2.ISSP Univ. Tokyo)

Keywords:laser, laser processing, femtosecond

高品位高効率なレーザー加工において、対象材料や加工形状に応じたレーザーの最適なパラメータを効率的に探索するためには各種パラメータを自動可変制御できるレーザーシステムが必要となる。照射パルスのエネルギー・パルス幅及びバーストパルス数を自動可変制御できる高出力ファイバーレーザーシステムを開発した。高スループットの現実的な加工条件にも対応できるように、平均出力100 W を超える高出力化を行った。