[19p-431B-1~18] 3.5 レーザー装置・材料

[19p-431B-3] 最適加工条件探索のためのパラメータ可変高出力フェムト秒ファイバーレーザーシステム

〇吉富 大¹、高田 英行¹、鳥塚 健二¹、小林 洋平² (1.産総研、2.東大物性研)

キーワード：レーザー、レーザー加工、フェムト秒

高品位高効率なレーザー加工において、対象材料や加工形状に応じたレーザーの最適なパラメータを効率的に探索するためには各種パラメータを自動可変制御できるレーザーシステムが必要となる。照射パルスのエネルギー・パルス幅及びバーストパルス数を自動可変制御できる高出力ファイバーレーザーシステムを開発した。高スループットの現実的な加工条件にも対応できるように、平均出力100 W を超える高出力化を行った。