[19p-432-1~8] 3次元積層集積デバイスによる半導体集積回路技術の進展と展望

[19p-432-5] 3次元フラッシュメモリ技術 BiCS FLASH^TM

〇田上 政由¹、勝又 竜太¹ (1.東芝メモリ(株))

キーワード：フラッシュメモリ