[19p-438-1~19] 3.8 光計測技術・機器

△ [19p-438-13] デュアルコム分光による位相屈折率の精密測定法の開発

〇(M2)王 月^1,2、浅原 彰文^1,2、庄司 一郎³、野竹 孝志⁴、南出 泰亜⁴、美濃島 薫^1,2 (1.電通大、2.JST, ERATO 美濃島知的光シンセサイザ、3.中央大、4.理研)

キーワード：デュアルコム分光、位相屈折率

近年、我々はデュアルコム分光法(DCS)を固体物性評価に応用し、試料の群屈折率や厚みを精密に評価するための新規計測手法を確立してきた。レンズ等の光学デバイスの設計の為に、位相屈折率の測定値は重要である。本研究では、ステップ状試料を用いることにより、固体試料の位相屈折率を評価することが可能な精密計測手法の実現を目指した。