2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器

[19p-438-1~19] 3.8 光計測技術・機器

2018年9月19日(水) 13:45 〜 19:00 438 (3Fラウンジ)

塩田 達俊(埼玉大)、安井 武史(徳島大)、田邊 健彦(産総研)

17:30 〜 17:45

[19p-438-14] 顕微偏光解析法による高精度屈折率計測

津留 俊英1、八木 浩司1 (1.山形大学地教)

キーワード:屈折率、エリプソメトリー

直径数100µmの微小試料の屈折率を光学的に計測するために、消光型エリプソメーターとシュバルツシルト反射対物ミラーを組み合わせた顕微偏光解析装置を作製した。計測精度から要求される対物ミラーの開口数について検討した。測定原理と合わせて詳細に述べる。