17:30 〜 17:45
[19p-438-14] 顕微偏光解析法による高精度屈折率計測
キーワード:屈折率、エリプソメトリー
直径数100µmの微小試料の屈折率を光学的に計測するために、消光型エリプソメーターとシュバルツシルト反射対物ミラーを組み合わせた顕微偏光解析装置を作製した。計測精度から要求される対物ミラーの開口数について検討した。測定原理と合わせて詳細に述べる。
一般セッション(口頭講演)
3 光・フォトニクス » 3.8 光計測技術・機器
17:30 〜 17:45
キーワード:屈折率、エリプソメトリー