[19p-438-1~19] 3.8 光計測技術・機器

[19p-438-14] 顕微偏光解析法による高精度屈折率計測

〇津留 俊英¹、八木 浩司¹ (1.山形大学地教)

キーワード：屈折率、エリプソメトリー

直径数100µmの微小試料の屈折率を光学的に計測するために、消光型エリプソメーターとシュバルツシルト反射対物ミラーを組み合わせた顕微偏光解析装置を作製した。計測精度から要求される対物ミラーの開口数について検討した。測定原理と合わせて詳細に述べる。