[19p-438-1~19] 3.8 光計測技術・機器

△ [19p-438-16] 光コム２色干渉計による空気屈折率自己補正技術を用いた高精度な形状計測手法の検討

〇(M1)生澤 佳久^1,2、中嶋 善晶^1,2、吴 冠豪³、美濃島 薫^1,2 (1.電通大、2.JST,ERATO美濃島知的光シンセサイザ、3.清華大)

キーワード：光コム、干渉計、空気屈折率

高精度な光学的距離測定において、空気屈折率の補正は必要不可欠である。我々は、2波長の光学距離を直接用いて自己補正を行う２色法に光コムを適用する手法を開発し、これまでに10^-9オーダーでの超高精度な空気屈折率補正手法の開発に成功した。本研究では本手法を高精度な形状計測手法に適用すべく実験的検討を行った。その結果、空気屈折率を瞬時に自己補正して遠隔物体の高精度な形状計測が行える見通しを得ることができた。