[19p-438-1~19] 3.8 光計測技術・機器

△ [19p-438-17] ピコニュートン力の計測に向けたMEMS用レーザー変位計の開発(2)

〇(D)紫垣 政信¹、田中 嘉人^1,2、佐藤 隆昭¹、志村 努¹ (1.東大生研、2.JST さきがけ)

キーワード：レーザー変位計、ピコニュートン、MEMS

ピコニュートンオーダーの力計測は、分子間相互作用の研究やタンパク質、DNAの力学的な構造解析など、物理のみならず生体計測等にも広く必要とされている。我々は、サブピコニュートン～数ピコニュートンの力計測技術を確立するため、マイケルソン干渉計を応用したレーザー変位計とMEMSデバイスの開発を進めている。