[19p-438-1~19] 3.8 光計測技術・機器

[19p-438-19] 表面プラズモンアンテナ付ＳＯＩフォトダイオードを用いた屈折率測定における温度補償方法の検討

〇林 凌佑¹、佐藤 弘明^1,2、竹内 州²、猪川 洋^1,2 (1.静岡大院総科技、2.静岡大電子研)

キーワード：屈折率測定、表面プラズモンアンテナ、フォトダイオード

筆者らは金の表面プラズモン（SP）アンテナ付SOI (silicon-on-insulator) フォトダイオードを用いた屈折率測定に基づく光学バイオセンサーを提案した。性能は代表的な表面プラズモン共鳴 (SPR) センサーと比肩しうる性能を得ているものの、低濃度のショ糖水溶液を測定した際にはセンサグラムのドリフトが顕在化した。本報告では屈折率の温度依存性に着目し、温度補償の方法について検討した。