[19p-438-1~19] 3.8 光計測技術・機器

[19p-438-2] 光コムを用いた高感度変位センシング技術の検討

〇松本 弘一^1,2、高増 潔¹ (1.東大工、2.東京精密㈱)

キーワード：粗面計測、分光干渉、光コム

光コムのパルス干渉による粗面計測を目標として，回折格子をモーターで回転させる分光干渉法を付加し，産業的な応用が可能なフィゾー干渉計を開発した結果，高感度な計測が可能であることが分かった．