[19p-PA4-1~27] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-PA4-1] AlN結晶のアニール処理による機械的ダメージの回復評価

〇枝澤 光希¹、浦西 将¹、富田 卓朗¹、西野 克志¹ (1.徳島大)

キーワード：AlN