[19p-PA4-1~27] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-PA4-4] オージェ電子分光法(AES)によるグラフェン上極薄AlN中間層の界面状態分析

〇竹内 智哉¹、寺井 汰至¹、鎌田 裕太¹、佐藤 祐大¹、橋本 明弘¹ (1.福井大院工)

キーワード：AES