[19p-PA4-1~27] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-PA4-5] グラフェン上極薄AlN中間層を用いたAlNホモエピタキシャル成長

〇佐藤 祐大¹、石丸 大樹¹、寺井 汰至¹、鎌田 裕太¹、竹内 智哉¹、橋本 明弘¹ (1.福井大院工)

キーワード：窒化アルミニウム