[19p-PA5-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

[19p-PA5-5] RPD-ITO堆積プロセスにおける光誘起ダメージの検討

〇磯貝 勇樹¹、神岡 武文^1,2、Lee Hyunju¹、小島 信晃¹、大下 祥雄¹ (1.豊田工業大学、2.明治大学)

キーワード：反応性プラズマ蒸着、光誘起ダメージ、界面準位密度