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[19p-PA7-22] Fabrication and optical properties of MIM film with Au/TiO2/AuNP
Keywords:MIM, titanium dioxide, gold nanoparticle
酸化チタンは、紫外線(UV)照射下で触媒活性を示すことが報告されており、応用が期待されている。本研究では、このmetal-insulator (MI)構造上に金膜をスパッタしてAuNPと金膜に挟まれたTiO2のmetal-insulator-metal (MIM)構造を持つ膜を作製した。試料の光学特性を測定するために消光スペクトルを透過光スペクトルと反射光スペクトルから導き、MI構造とMIM構造や酸化チタンの膜厚による違いについて検討を行った。