[19p-PA7-1~29] 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学

[19p-PA7-22] 酸化チタンと金による高吸収MIM膜の作製と光学特性評価

〇高畑 敏彦¹、芳谷 勇樹¹、柳谷 伸一郎¹、川上 烈生¹、古部 昭広¹ (1.徳島大工院)

キーワード：MIM、酸化チタン、金ナノ粒子

酸化チタンは、紫外線(UV)照射下で触媒活性を示すことが報告されており、応用が期待されている。本研究では、このmetal-insulator (MI)構造上に金膜をスパッタしてAuNPと金膜に挟まれたTiO₂のmetal-insulator-metal (MIM)構造を持つ膜を作製した。試料の光学特性を測定するために消光スペクトルを透過光スペクトルと反射光スペクトルから導き、MI構造とMIM構造や酸化チタンの膜厚による違いについて検討を行った。