[19p-PA7-1~29] 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学

[19p-PA7-8] 走査型マイクロ波顕微鏡(SMM)による高感度計測技術

〇平野 育¹、堀部 雅弘¹ (1.産総研)

キーワード：走査型マイクロ波顕微鏡、ベクトルネットワークアナライザー、T型干渉計

走査型マイクロ波顕微鏡は、原子間力顕微鏡の空間分解能計測と同時にベクトルネットワークアナライザによる電気測定が同時に実現できている。我々は、反射型の干渉計回路を導入することで、ドーパント濃度の異なる層をSi基板に積層した試料において、ドーパント濃度分布を高感度(製品版の100倍以上)で観測することに成功した。