[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-PB1-1] 二元同時電子ビーム蒸着法により形成した透明太陽電池用半導体薄膜

〇森田 廣¹、平野 雅也¹、合田 和矢¹ (1.山口東京理科大工)

キーワード：太陽電池、真空蒸着法

我々は透明薄膜太陽電池を構成するＮｉＯよりなるｐ型半導体にＬｉを添加すると発電効率が向上することを見出し、過去に発表した。その後、このＬｉ添加量の最適添加量を見出すために、合金薄膜や化合物薄膜を作製する方法として開発された多元同時蒸着法を活用している。まず、２つの蒸発源（ＮｉＯ、Ｌｉ２Ｏ）からの同時蒸着により得られる膜組成を理論的に示す手法を把握した。次に、実際に形成した種々の組成の膜の特性を調べ、最適なｐ型半導体薄膜を実現して、発電効率の向上を図ったのでここに報告する。さらに、この手法はＬｉより優れた添加元素の探査にも指導理念として役立てることができることを示したい。