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[19p-PB1-14] Electrical properties of M2-phase VO2 thin film grown on ITO by ICP-assisted sputtering
Keywords:VO2, Mott insulator, electrical properties
絶縁体金属相転移(IMT)を示す二酸化バナジウム(VO2)は相転移が 温度だけでなく電圧印加によっても生じる点からスイッチング素子やニューロン素子としての応用が期待されている. VO2の低温相の中でモット絶縁体であると考えられているM2相についてその転移特性や電気的特性を調査した.