[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-PB1-15] ZnOナノロッド/glass上へのVO₂薄膜堆積と光学特性

〇福住 達郎¹、伊藤 大樹²、児島 永悟²、陳 飛²、星野 寛明¹、沖村 邦雄¹ (1.東海大院工、2.東海大工)

キーワード：二酸化バナジウム、酸化亜鉛、ナノロッド

二酸化バナジウム(VO₂)は, 68℃付近で絶縁体から金属へと抵抗値の変化を示す.この特性から赤外光透過率の変化を示し,スマートウィンドウへの応用が期待されている.しかし, VO₂をスマートウィンドウに応用した場合,可視光透過率が低いことが課題となる.そこで,本研究ではナノロッド化した酸化亜鉛をバッファ層として用いた glass基板上にVO_２を選択成長させることで,可視光透過率の向上を目指した.