[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-PB1-16] 酸化物機能材料のための非還元性SiO₂-PECVDの検討

〇座間 秀昭¹、小林 忠正¹ (1.アルバック超材研)

キーワード：PECVD、SiO2、非還元性

水素を含有しない原料を用いて、非還元性を実現したSiO₂-PECVDプロセスを酸化物機能材料に適用して、その有効性を評価した。