[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-PB1-31] 圧力勾配型プラズマガンを用いて作製したIWO薄膜の電気・光学特性

〇山田 義春¹、橋本 典晃²、古屋 英二²、近藤 裕佑¹、筧 芳治¹、佐藤 和郎¹、森 隆志¹、田中 剛¹ (1.大阪技術研、2.中外炉工業(株))

キーワード：透明導電膜、近赤外線