[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-PB1-33] スパッタ法によりZn膜上に堆積したAZO薄膜の検討

〇清水 英彦¹、岩野 春男¹、川上 貴浩¹、福嶋 康夫¹、永田 向太郎¹ (1.新潟大工)

キーワード：Al添加ZnO、酸化物透明導電膜、スパッタ法

本研究では，ガラス基板上に，室温にてZn膜を堆積し，その上に200℃にてAZO薄膜をスパッタ法を用いて堆積する方法の検討を行った。