[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-PB1-9] スパッタ法により作製したBa(Ce_1-xTi_x)_yY_1-yO₃薄膜の化学的安定性

橋本 智之¹、高柳 真¹、山田 庸公¹、堀場 弘司²、湯川 龍²、組頭 広志²、〇樋口 透¹ (1.東理大理、2.高エネ研)

キーワード：イオン伝導体、電子構造

本研究では、Ba(Ce_1-xTi_x)_yY_1-yO₃(BCTYO)薄膜をスパッタ法にて作製し、イオン伝導度と化学的安定性を評価した。当日は、詳細な電気特性・電子構造の結果に加え、湿潤雰囲気に24時間曝した後のXRDおよびイオン伝導度の結果を示し、化学的安定性について報告する。