[19p-PB3-1~14] 6.6 Probe Microscopy

[19p-PB3-2] Fabrication of thermal sensor for scanning probe microscope

〇Saori Tabuchi¹, Agus Subagyo^1,2, Yukari Koketsu¹, Eiji Hatta¹, Kazuhisa Sueoka¹ (1.Graduate School of IST, Hokkaido Univ, 2.CRIS, Hokkaido Univ.)

Keywords:Scanning Thermal Microscope

温度は主要な物理的パラメータの1つであり、熱センサは様々な分野において用いられている。本報告では、走査型熱顕微鏡（SThM:Scanning Thermal Microscope）に用いるための微小領域接合熱電対を搭載したカンチレバーの開発について述べる。カンチレバーの試作と、カンチレバーに搭載する熱電対センサーの基板上への試作をおこない、作製プロセスの確立と基本性能を評価した。