[19p-PB3-1~14] 6.6 プローブ顕微鏡

[19p-PB3-2] 走査型プローブ顕微鏡用の温度センサ作製

〇田渕 沙織¹、Subagyo Agus^1,2、纐纈 ゆかり¹、八田 英嗣¹、末岡 和久¹ (1.北大院情報科学、2.北大創成研)

キーワード：走査型熱顕微鏡

温度は主要な物理的パラメータの1つであり、熱センサは様々な分野において用いられている。本報告では、走査型熱顕微鏡（SThM:Scanning Thermal Microscope）に用いるための微小領域接合熱電対を搭載したカンチレバーの開発について述べる。カンチレバーの試作と、カンチレバーに搭載する熱電対センサーの基板上への試作をおこない、作製プロセスの確立と基本性能を評価した。