[19p-PB5-1~14] 13.9 化合物太陽電池

△ [19p-PB5-11] 同時スパッタ法による薄膜CuGaS₂の作製

〇(M2)松林 宏弥¹、アーサン ナズムル²、金 明玉³、シヴァベルマン カライナザン⁴、岡田 至崇^1,2 (1.東大院工、2.東大先端研、3.東大教養、4.VIT大学)

キーワード：カルコパイライト系半導体、太陽電池、マグネトロンスパッタリング

我々はカルコパイライト半導体をベースとした次世代型太陽電池を目指し，その母体となりうるワイドギャップを持つCuGaS₂薄膜をガラス基板上にスパッタ成膜し，その結晶性を評価している．しかしCuGaS₂ターゲットをスパッタしたCuGaS₂薄膜は化学量論的ではなかった．GaSターゲットを用いた同時スパッタにより，CuとGaの比を制御し，結晶性を評価した．