[19p-PB7-1~7] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[19p-PB7-1] 選択エッチングを用いた歪みSiGe(111)-On-Insulator基板の作製

〇大島 修一郎¹、坂本 優¹、山田 道洋²、浜屋 宏平²、澤野 憲太郎¹ (1.東京都市大学工、2.大阪大学基礎工)

キーワード：半導体、Ge